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?MOCVD外延滤芯K465i的主要作用是安装在Veeco K465i设备的真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒?。这种滤芯采用两级过滤工艺，包括粗滤和细滤，能够有效去除不同大小的颗粒杂质，保护设备免受污染?12。
具体作用和效果
- ?过滤杂质?：滤芯能够分级过滤杂质，有效去除混合气体中的粉尘和颗粒，保护设备免受污染?12。
- ?耐高温?：滤芯采用耐高温玻纤滤料，长期使用温度可达250度以上，适用于高温环境?12。
- ?高精度过滤?：滤芯采用高精度的过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，能够有效保护设备?12。
- ?容污能力强?：波纹工艺增加了有效过滤面积，容污能力强，使用周期长?